9
打破日本垄断 韩国开发出EUV晶圆：三星、海力士都要买
source link: https://news.pconline.com.cn/broadcasting/2209/15378304.html
Go to the source link to view the article. You can view the picture content, updated content and better typesetting reading experience. If the link is broken, please click the button below to view the snapshot at that time.
打破日本垄断 韩国开发出EUV晶圆：三星、海力士都要买
2022-09-09 19:10 出处/作者：快科技 整合编辑：佚名 0
全球的EUV光刻机只有荷兰ASML能够生产，日本两大光刻机公司佳能、尼康退出了EUV生产，但日本公司在EUV产业链上依然有很强的积累，EUV光刻胶及EUV晶圆主要是日系厂商控制。
三年前日本为了打压韩国，宣布限制多种先进半导体技术和材料出口给韩国，EUV方面的产品就很敏感，不过韩国公司也在积极研发替代产品，
日前SK财团下属的SK Siltron宣布研发出10nm级第四代(1a)DRAM的抛光晶圆，可用于EUV工艺的内存芯片生产。
SK Siltron是韩国最大、世界第三的硅晶圆公司，旗下产品主要有抛光片及外延片，前者以高精度多晶硅为基础，适用于内存及闪存芯片，后者以高精度单晶硅为基础，适用于逻辑工艺，也就是生产CPU、GPU之类的芯片。
三星及SK海力士的DRAM内存芯片也开始应用EUV工艺， 所需的EUV级硅晶圆之前只有日本两家公司胜高及信越（他们两家是第一、第二大硅晶圆供应商）可以生产 ，三星也要进口日本厂商的产品。
</div
Recommend
About Joyk
Aggregate valuable and interesting links.
Joyk means Joy of geeK