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英特尔Fab 34晶圆厂迎来首台EUV光刻机，为未来生产7nm芯片做准备
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英特尔Fab 34晶圆厂迎来首台EUV光刻机，为未来生产7nm芯片做准备
吕嘉俭发布于 2022-4-12 09:55
本文约 570 字，需 1 分钟阅读
在今年1月份，一台光刻胶显影设备飞越大西洋运抵工厂，完成了英特尔Fab 34晶圆厂的首台设备的安装工作，未来将与EUV扫描仪一起运行。上周，英特尔位于爱尔兰的Fab 34晶圆厂完成了第一台EUV光刻机的安装，这是欧洲首个具备EUV工艺的晶圆厂。
据了解，这台EUV光刻机由ASML制造，先运到了英特尔位于美国俄勒冈州的基地，然后再运往欧洲。不清楚为什么英特尔没有选择直接运到爱尔兰，或许是要测试这台EUV光刻机，确保符合要求后再运往新工厂。在英特尔公布的视频中，大约有100多名ASML工程师到了Fab 34晶圆厂协助安装，同时英特尔从美国派来了工程师，负责培训Fab 34晶圆厂的员工如何使用EUV光刻机。
英特尔没有公布这台EUV光刻机的型号，不过以英特尔的财力和对未来的规划，相信会是最新的型号之一。英特尔向ASML订购了多台EUV光刻机，这是其第一台，英特尔称之为“Intel 4工艺技术的关键推动者”。ASML的这台EUV光刻机需要四架运输机运送，然后再由35辆货车运输，才能送抵Fab 34晶圆厂。英特尔自去年12月起，就分批发送这台EUV光刻机，花了几个月的时间才完成运送。
Fab 34晶圆厂是在2019年开始动工，计划2023年正式投产。英特尔曾表示，爱尔兰晶圆厂是其全球晶圆厂扩建计划的一部分，为了满足全球迅速增长的芯片需求，同时也为英特尔的Intel 4工艺量产铺路，未来将用于生产Meteor Lake和Granite Rapids等芯片。
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